電子工業(yè)用超純水設(shè)備

電子工業(yè)用超純水概述

半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用許多的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技能分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

電子工業(yè)用超純水設(shè)備的工藝流程

電子工業(yè)用超純水設(shè)備的工藝大致分紅以下幾種：

1、選用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方法，其根本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精細(xì)過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精細(xì)過濾器→用水點(diǎn)

2、選用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方法，其根本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精細(xì)過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精細(xì)過濾器→用水點(diǎn)

3、選用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配的的方法，這是一種制取超純水的zui新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕涓竟に嚵鞒虨椋涸?rarr;沙炭過濾器→精細(xì)過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→

目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝根本上是以上三種，其他的工藝流程大都是在以上三種根本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺陷分別列于下面：

1、*種選用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初出資少，占用的地方少，但缺陷就是需求經(jīng)常進(jìn)行離子再生，消耗許多酸堿，并且對(duì)環(huán)境有必定的損壞。

2、第二種選用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比選用離子交換樹脂方法要高，但離子設(shè)備再生周期相對(duì)要長(zhǎng)，消耗的酸堿比單純選用離子樹脂的方法要少許多。但對(duì)環(huán)境仍是有必定的損壞性。

3、第三種選用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)設(shè)備，這是目前制取超純水zui經(jīng)濟(jì)，zui環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需求用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對(duì)環(huán)境沒什么損壞性。其缺陷在于初出資相對(duì)以上兩種方法過于貴重。

一般由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精細(xì)過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理體系、RO反滲透主機(jī)體系、離子交換混床(EDI電除鹽體系)體系等構(gòu)成主要設(shè)備體系。水箱均設(shè)有液位操控體系、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)設(shè)備、在線水質(zhì)檢測(cè)操控儀表、電氣選用PLC可編程操控器，真正做到了無人職守，同時(shí)在工藝選材上選用引薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。